Dynamik und Präzision im Nanometerbereich

An der Grenze des technisch Machbaren – das ist unsere Leidenschaft.

Seit 2001 entwickelt und fertigt die Eitzenberger GmbH hochpräzise, luftgelagerte Komponenten und Systeme, die sich auf einem Mikro-Luftpolster bewegen. Unsere Lösungen stehen für Positionsgenauigkeit im einstelligen Nanometerbereich, sind reinraumtauglich und arbeiten verschleißfrei. Weltweit setzen namhafte Kunden unsere Produkte in Anlagen zur Halbleiter-, Optik- und Flachbildschirmherstellung sowie in Ultrapräzisionsmaschinen und Koordinatenmessgeräten ein.

Unser Produktspektrum umfasst:

• Elementarluftlager
• Drehtische
• Spindeln
• Linearachsen
• Kreuztische
• Komplexe Kinematiken
• Bestückköpfe für Bondanwendungen
• Spezialanwendungen

Unsere luftgelagerten Systeme überzeugen durch hohe Tragkraft, Steifigkeit und kompakte Bauweise. Die Hochgeschwindigkeits-Linearachse EZ-3200 erreicht bis zu 8 m/s mit 180 m/s² Beschleunigung bei 0,2 µm Wiederholgenauigkeit. Die Spindel EZ-RP201 bietet < 0,05 µm Rundlaufgenauigkeit und eignet sich durch ihre Steifigkeit ideal für das Waferschleifen. Mit der Dynamic Wafer Stage präsentieren wir die erste 2D impulsentkoppelte Stage mit interferometrischer Genauigkeit und nahezu Abbé-fehlerfreiem Design.

Als inhabergeführtes Unternehmen mit Sitz in Wessobrunn (Bayern) beschäftigen wir rund 70 Mitarbeitende und wachsen kontinuierlich. Vertriebspartner in Benelux, Schweiz, Israel, China, Taiwan, Südkorea, Japan, USA und Australien gewährleisten unsere weltweite Präsenz.

Ob Standardkomponente oder maßgeschneiderte Lösung – gemeinsam mit Ihnen entwickeln wir das passende Kinematiksystem.